【適用氣體】
腐蝕性，毒性，易燃，超高純氣體（半導體）：NF3、SiH4、BF3、 SF6、Cl2、NH3、N2O、HCl、B2H6、CH3F、WF6等超高純氣體及混合氣體。
【特征 1】 成功削減約60%的死角空間，清潔性能，耐腐蝕性更出眾
①氣體很難在閥體內滯留，閥的主件不會受到功能損壞或腐蝕。
②可保證氣體純度，對半導體品質的影響降低到最低限度。
【特征 2】 Cv值0.4∽0.6
①適用于液化氣的大流量閥門，也可用于壓縮氣體。是劃時代的產品！
②進出口螺紋及形式由客戶指定的規格標準生產。
【特征 3】 采用特殊的平墊片
①可減輕因扭力過大導致的墊片變形。
參數：
最高工作壓力 | 15MPa； 20MPa |
使用溫度 | +5℃∽+40℃ |
鋼瓶接口 | JIS B8246 V2 EN629 25E 3/4-14NGT可選 |
充裝接口 | CGA/DISS/JIS/DIN/BS可選 |
氦檢漏（Pa.m3/sec) | 1.0X10￣?以下 |
執行器工作壓力 | 0.5-0.7MPa |
執行器接口 | ?4/?6 可選（軟管快插） |
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